實驗名稱：變形鏡驅動器應變與鏡面位移測試實驗

　　測試設備：變形鏡、高壓放大器、波面干涉儀、基恩士激光位移傳感器和實時仿真系統。

　　圖1：粘接應變花的單電極變形鏡

　　實驗過程：

　　搭建了橫向壓電變形鏡面形和鏡面位移測試系統，在開環(huán)狀態(tài)下，dSPACE輸出信號參考信號ur(t)，經高壓放大器進行放大，作為變形鏡輸入信號，驅動變形鏡運動。閉環(huán)狀態(tài)下，經應變放大器放大的應變花信號S(t)與ur(t)進行比較，MATLAB/Simulink的PID控制器進行相應的控制[133]，輸出信號為uc(t)。波面干涉儀可測試變形鏡鏡面的變形。利用MATLAB將應變數據S(t)帶入預測模型進行計算，與實測的面形進行對比，得到模型的預測精度。同時，鏡面的最大變形量信號x(t)通過位移傳感器由dSPACE采集，可進行非線性誤差校正實驗。

　　圖2：集成應變反饋層的單電極變形鏡測試系統

　　實驗結果：

　　圖3：變形鏡驅動器應變和鏡面位移測試

　　上圖是零輸入狀態(tài)下應變測試結果。在短時間內應變花每一片的應變均在±1με內。這種波動主要由放大器中的噪聲干擾所致，屬于系統誤差范圍。上圖(b)是電極通100V狀態(tài)下得到的應變花反饋的應變，測試時間5min。加載階躍信號前后應變花的三片變化狀態(tài)一致，應變平均值分別為34.20με、35.78με與34.65με，三者之間誤差最大只有0.58με。這表明應變花每一片反饋的應變較為均勻，應變花的粘接位置對稱性較好。蠕變過程的爬升量較小，穩(wěn)定后的波動范圍在3με之內，體現了應變花的長時穩(wěn)定性。上圖(c)是位移傳感器測得的鏡面中心位置的位移信號，PV值約為2.50μm，且同應變的變化過程一致。

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　　圖：ATA-7010高壓放大器指標參數

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